荷蘭政府早前決定跟隨美國,擴大限制半導體製造設備出口,中方曾批評此舉嚴重威脅全球半導體產業鏈,但中國工業和信息化部官網近日一項通知顯示,中國已取得重大技術突破,研發出深紫外光(DUV)光刻機,可生產8納米及以下晶片,若果屬實,日後或能減少被「卡脖子」。
工信部本月9日發布「首台(套)重大技術裝備推廣應用指導目錄(2024年版)」通知,下發地方要求加強產業、財政、金融、科技等國家支持政策的協同。根據目錄,積體電路生產裝備的其中一項是「氟化氬光刻機」(DUV光刻機),核心技術指標是「晶圓直徑300毫米,照明波長193納米,分辨率65納米以下,套刻功能8納米以下」,這些數據代表,中國自製的光刻機足可生產8納米及以下晶片。
中國自媒體:至少已填補空白
中國科技自媒體轉發有關消息,並謂中國自己的DUV光刻機終於來了,雖然與荷蘭艾司摩爾(ASML)光刻機存在代差,但至少已填補空白,可控可用,期待之後能研發出更先進的極紫外光曝光機(EUV)。
美國是在月初宣布收緊製造先進半導體設備所需機器的出口管制,荷蘭隔日跟進,擴大限制半導體製造設備出口,《路透社》指艾司摩爾的1970i與1980i兩款屬於中階的DUV光刻機輸出中國將受影響,因此,中國若能生產8納米及以下製程的DUV光刻機,未來絕大多數晶片製造將不用受制於艾司摩爾,但目前尚無中國官方與廠商宣布有關消息。
中國網民反應普遍「冷靜」,「是不是又像CPU一樣的,打磨一下」、「能公布的都是上一代的」、「尖端技術的沒必要公布,我們能用上就好了」、「華為手機的芯片(晶片)到底是誰生產的啊?保密做的這麼好」;也有人相當興奮,留言稱「打擊美國高科技企業」、「那個說中國永遠都造不出光刻機的大教授在哪?」。
編輯:李向陽(台北) 網編:池煥衡